[诚丰净化]光学微电子净化工程解决方案（上篇）

光学微电子净化工程解无尘室决方案:

净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满无尘室足甲方生产使用要求、工程造价合理、无尘室经济节能实用的方案。

1、组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口 这是无尘室一个最传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷无尘室源由冷水机组提供。

优点：

A.空气处理效果好，因空气经过集中处理，在送风净化车间过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确;

B.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;

C.空调冷热源可与厂房普通空净化车间调系统合用或独立冷热无尘车间源;

D.维修频率较低;

E.车间的噪音低。

缺点：

A.需要有配套的无尘车间冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另需要有放置组合式空无尘车间气处理机组的空调机房，如25000m3/h的组合式空气处理机组，常用外净化车间形尺寸为6450×1850×2250mm左右。对于旧厂房改造项目净化车间来说比较困难空出一个20-30┫的机房的;

B.造价高。

特点：

A.建议新无尘车间风经过集中处理净化车间后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷净化车间处理负担;

C.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。