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无尘车间黄光区操作要点 
[ 2017-04-18 ]     浏览次数:7628 字体:【 打印此页
 

无尘车间黄光区操作要点 

1. 湿度及温度会影响对准工作,在黄光区应注意温度及湿度,并应减少对准机附近的人,以减少湿、温度的变化。无尘室  

2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得携出黄光区以免感光。洁净车间  

3. 己上妥光阻,而在等待对准曝光之芯片,应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内, 盒盖必须盖妥。净化车间

4. 光罩使用时应持取边缘,不得触及光罩面,任何状况之下,光罩铬膜不得与他物接触,以防刮伤,光罩之落尘可以氮气枪吹之。 

5. 曝光时,应避免用眼睛直视曝光机汞灯。无尘车间

 
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